名称: TMC主动除振系统STACIS®III
型号: STACIS® III
品牌: TMC
STACIS®III是*先进的主动振动抵消系统。采用先进的惯性振动传感器,复杂的控制算法,和*先进的压电执行器,STACIS通过连续测量地板活动,通过膨胀和收缩压电执行器来过滤掉外界环境带来的震动。
*初设计用于先进半导体工厂的高精密光刻,计量,以及精密检测等设备的隔震 。STACIS现在成了嘈杂环境中高灵敏仪器隔震的行业标准解决方案,包括但不限于半导体工厂,失效分析实验室,纳米技术研究,纳米制造设施和材料研究。
STACIS III系统包括*个新的改进型数字控制器DC-2020,配置全新双核处理器、以太网以及USB串行端口。这种新的先进控制系统提供用户*个易于使用的直观图形化用户界面(GUI)。
随着世界范围内数以百计的成功安装,STACIS成了振动敏感的高精密仪器*理想的振动抵消系统的代名词。
DC-2020 for STACIS III:
带有图形化用户界面的新*代STACIS数字控制器
STACIS® 系统标准配置DC-2020,用户无需单独选购。
STACIS® 系统安装在为客户定制设计的 TMC Quiet Island® 上subfloor ,为电子束光刻提供精密消震
STACIS® III特征及优点:
STACIS用户及应用领域:
1、微电子、半导体
▪晶片检测
▪显微光刻技术
▪掩膜校准
2、科学研究、纳米技术
▪SEM、TEM
▪STEM、SPM
3、激光台▪生命科学、药物研发
4、工业应用▪精密加工
为什么要选择主动系统?
▪从<1Hz开始强烈消除地面震动,气动平台在这*低频处无法起到有效的隔振
▪提高吞吐量、质量、生产量
▪更加细小特色的成像能力
▪研究前沿
▪比气动平台更稳定
▪满足SEM标准地点安装参数的唯*解决方案
▪使得新实验室及研究设备的工程造价更低
为何选择主动系统, 为何选择STACIS ?
▪正中研究者、科学家、设计者、***的心声棗?#25105;需要尽可能*好的无震环境!?/SPAN>
▪市场上*强劲的低频隔振系统。
▪目前,所有的SEM厂商都公布了安装参数要求,其需要的震动参数需要主动隔振系统
▪STACIS**发明于 mid 1990s, 经TMC进*步发展,开发了数以千计的安装系统,这是隔振控制领域的***提供的可靠技术.
稳定时间作为对扰动的响应,由于独特的串联式设计,而大大缩短,理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。
如下优势在业内都是****的 :
▪STACIS的主动隔振带宽为 0.6Hz - 150Hz
▪6个自由度的主动震动消除,在1Hz时隔振8-10dB
▪从2-3Hz时,隔振可达90% (20dB)
专业的环境调查 :
1、安装前后的环境调查,包括震动、磁场、声波
2、安装后可提供环境系统体系认证
▪完善的环境调查服务
▪开具专业环境报告
▪提供震动、磁场、声波检测及解决方案
▪全球性覆盖。有求必应,博学多才
▪TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案
▪40多年的行业经验,业内的***
产品规格:
性能: