STACIS®III是*先进的主动振动抵消系统。采用先进的惯性振动传感器，复杂的控制算法，和*先进的压电执行器，STACIS通过连续测量地板活动，通过膨胀和收缩压电执行器来过滤掉外界环境带来的震动。

*初设计用于先进半导体工厂的高精密光刻，计量，以及精密检测等设备的隔震 。STACIS现在成了嘈杂环境中高灵敏仪器隔震的行业标准解决方案，包括但不限于半导体工厂，失效分析实验室，纳米技术研究，纳米制造设施和材料研究。

STACIS III系统包括*个新的改进型数字控制器DC-2020，配置全新双核处理器、以太网以及USB串行端口。这种新的先进控制系统提供用户*个易于使用的直观图形化用户界面（GUI）。

随着世界范围内数以百计的成功安装，STACIS成了振动敏感的高精密仪器*理想的振动抵消系统的代名词。

 

DC-2020 for STACIS III：
带有图形化用户界面的新*代STACIS数字控制器
STACIS® 系统标准配置DC-2020，用户无需单独选购。
STACIS® 系统安装在为客户定制设计的 TMC Quiet Island® 上subfloor ，为电子束光刻提供精密消震

 

STACIS® III特征及优点：
▪ *新改进型DC-2020数字控制器，提供易于使用的图形用户界面
▪ 隔振开始于0.6赫兹，1Hz时达到40％至70％的隔离率
▪ 频率2赫兹和更高时，垂直和水平隔震率大于90％
▪ 降低基础设施的要求和建设成本，即使有较大外界震动设备也可正常运行
▪ 有效隔震范围，0.6赫兹到150赫兹
▪ 众多用户的广泛认可和肯定
▪ 6向自由度硬安装设计，无需空气悬架
▪ 强大的控制系统无需定期重新校准
▪ point-of-use设计方案，与客户现有隔振系统无缝兼容
▪ 随着外部环境改变，系统自动调节以适应不同外部震动情形
▪ TMC的STACIS®技术使用压电执行器主动消振
▪ 数字控制器与基于PC的图形用户界面（GUI）
▪ 改善陈旧设施的隔震能力，以适应先进精密设备要求
▪ 与各楼层高度和楼子的几何形状，晶圆厂兼容
▪ 提高客户产量，质量和成品率
▪ 符合RoHS标准
▪ *宽的主动隔振带宽，*好的低频隔振效果
▪ 亚赫兹的主动震动消除，*主要在0.6-6Hz频段内的隔振
▪ 唯*的可堆叠式设计
▪ 主动硬式安装结构，而非软式悬浮，无低频漂移：主动元件与刚性弹簧相连
▪ 被动弹簧滤除了来自Stacis传感器的负载谐振，需要的调谐非常少，甚至无需调谐
▪ 由于阻抗不匹配，可兼容仪器内部隔离器
▪ 大负载，可达 2000kg
▪ 市场是*先进的隔振系统

 

STACIS用户及应用领域：
1、微电子、半导体

▪晶片检测

▪显微光刻技术

▪掩膜校准
2、科学研究、纳米技术

▪SEM、TEM

▪STEM、SPM

3、激光台

▪生命科学、药物研发

4、工业应用

▪精密加工

为什么要选择主动系统？
▪从<1Hz开始强烈消除地面震动，气动平台在这*低频处无法起到有效的隔振
▪提高吞吐量、质量、生产量
▪更加细小特色的成像能力
▪研究前沿
▪比气动平台更稳定
▪满足SEM标准地点安装参数的唯*解决方案
▪使得新实验室及研究设备的工程造价更低

为何选择主动系统, 为何选择STACIS ?
▪正中研究者、科学家、设计者、***的心声棗?#25105;需要尽可能*好的无震环境！?/SPAN>
▪市场上*强劲的低频隔振系统。
▪目前，所有的SEM厂商都公布了安装参数要求，其需要的震动参数需要主动隔振系统
▪STACIS**发明于 mid 1990s, 经TMC进*步发展，开发了数以千计的安装系统，这是隔振控制领域的***提供的可靠技术. 

STACIS相比气动隔离器刚性大400倍 ?

稳定时间作为对扰动的响应，由于独特的串联式设计，而大大缩短，理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。

如下优势在业内都是****的 :
▪STACIS的主动隔振带宽为 0.6Hz - 150Hz
▪6个自由度的主动震动消除，在1Hz时隔振8-10dB 
▪从2-3Hz时，隔振可达90% (20dB) 

专业的环境调查 :
1、安装前后的环境调查，包括震动、磁场、声波
2、安装后可提供环境系统体系认证

▪完善的环境调查服务

▪开具专业环境报告

▪提供震动、磁场、声波检测及解决方案

▪全球性覆盖。有求必应，博学多才

▪TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案 

▪40多年的行业经验，业内的***

 

产品规格:

 

性能: